用双入射角的反射型椭偏术自动测定单层膜厚度

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用双入射角的反射型椭偏术自动测定单层膜厚度
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作者:
                        
                        
                    
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A Method of Automatic Determination of the Thickness of a Single Film

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本文提出了应用双入射角的反射型椭偏术,可克服椭偏仪一般只能测定膜层厚度小于1周期值的缺点。该技术已成功地应用于微机控制自动消光法椭偏仪上,能自动测定厚膜的膜厚和折射率。经大规模集成电路生产中使用,效果良好,且能提高测量精度和简化操作。

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王润.用双入射角的反射型椭偏术自动测定单层膜厚度[J].上海理工大学学报,1987,(4).

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