运算电容式传感器用于铝氧化膜厚度测试的研究

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运算电容式传感器用于铝氧化膜厚度测试的研究
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                        [cstr]
                    
作者:
                        
                        
                    
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The Research on Operational Capacitive Transducers for Measuring the Aluminium Oxidic Film

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本文通过对运算电容式传感器及铝氧化膜厚度测试的实验研究,分析了影响测试精度的主要因素,并给出了校正方法和实用测量模型。

Abstract:

The present paper Js intended to analyze the operationol capacitive transducer for measuring the thickness of aluminium exidic film. Based on the principle of capacitive transducer measurement, a practical film thickness measuring model is offered.

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张奇生,张仁杰.运算电容式传感器用于铝氧化膜厚度测试的研究[J].上海理工大学学报,1989,(4).

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