φ16cm宽束离子源的设计

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φ16cm宽束离子源的设计
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CSTR:
                        [cstr]
                    
作者:
                        
                        
                    
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中图分类号:TL629.1
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Design of a 16 cm-diameter broad-beam ion source

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本文介绍了一种口径为φ１６ｃｍ的宽束离子源的设计．该源采用了多极场型放电室，结构紧凑合理，便于清洁维修以及更换离子引出系统．使用二栅引出系统时，可获得５０～１５００ｅＶ的离子束．距源１０ｃｍ处，５００ｅＶ的氩离子束的束流密度可达０．９５ｍＡ／ｃｍ２，且±８％均匀性的均匀区域达φ１４ｃｍ．

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梁晓,廉洪舰,凌世德.φ16cm宽束离子源的设计[J].上海理工大学学报,1995,(2).

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