氮化铝（AlN）薄膜的光学特性研究

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氮化铝（AlN）薄膜的光学特性研究
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作者:
                        
                        
                    
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中图分类号:O484.41 TN304.23
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研究了宽禁带Ⅲ－Ⅴ族化合物半导体氮化铝（Ａ１Ｎ）薄膜的折射率及其热光特性，采用棱镜－－薄膜硝装置和自动温控光波导测试仪，测出不同温度不氮化铝薄膜的波导特性，利用迭代法可得到Ａ１Ｎ的折射率与温度变化的关系，并首次没得了Ａ１Ｎ薄膜的热光特性。

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韩莹庄松林.氮化铝（AlN）薄膜的光学特性研究[J].上海理工大学学报,1999,(1):21-24.

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